平板顯示 - 氣體過濾的解決方案

平板顯示器市場競爭激烈，技術多樣。針對于此，制造商致力于開發更高分辨率的顯示器、新的制造技術和更具成本效益的生產工藝。涉及到環境空氣，工藝制程氣以及液體制程的污染控制要求比以往更高。高等級制程需要將越來越小的污染物控制在更微小的濃度水平。在關鍵工藝步驟中，大面積面板上積累灰塵顆粒的可能性非常高，所以需要的送風量和循環風量很大，來提高空氣潔凈度，從而控制產品質量。